1977,赶山打猎娶女知青

梅菜干扣肉

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第1845章 总装台上的光斑

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五月八日上午十点整。

燕山百级超级洁净大厅气闸门前,绿灯长鸣。

“百级洁净区尘埃粒子计数归零。”技术员在对讲机里报告。

科技部李建国司长身穿全套白色防尘服,在三位中科院光学院士陪同下缓步走入。

空气中弥漫着高纯氮气微弱的清冽气息。

车间中央特种减震花岗岩平台上,高三米、重达两吨的银灰色钛合金镜筒巍然矗立。

“这就是赤乌零一号深紫外投影物镜?”李建国目光停在镜筒上。

张红旗走上前:“报告李司长,二十四块非球面透镜已全部入筒合拢完成。”

“光学同轴度与同心度校准得怎么样?”中科院泰斗孙院士扶了扶防尘镜严肃询问。

唐国维站在主控台前朗声答复:“纳米级微动机械手已锁死偏摆,轴心偏差小于零点零五角秒!”

“压电陶瓷执行器的动态微调响应如何?”孙院士又问。

“全镜筒配备六十四路微驱动传感,响应时间在两毫秒以内!”沈研究员迅速切出控制界面。

孟师傅站在总装台旁,双手自然垂在腰际,胸膛挺得笔直。

“老孟师傅,您亲手切出的透镜,今天可要见真章了。”李建国微笑着看向老工匠。

“李司长放心!”

孟师傅高声应答:“二十四块镜坯老头子拿命试过,绝不给国家掉链子!”

全场专家学者肃然起敬。

此时此刻。

北京半岛酒店豪华套房内,烟雾缭绕。

东京尼康驻华首席代表黑泽宏一握着加密电话,神情近乎狰狞。

“喂,高桥专务!”黑泽宏一急促汇报,“际华今天上午就要强行点亮物镜总成!”

电话那头传来东京总部的冷嗤:“二十四块大口径非球面透镜,哪怕蔡司也要调校半年。”

“中方连合格的研磨悬浮液都被扣押,仓促拼凑起来的散件,必定产生严重像差与散光。”

“你立刻通知各驻华外媒,只要他们点亮失败,就公开质疑其芯片工程是一场骗局!”

黑泽宏一狞笑点头:“明白,外媒记者已经在燕山厂区门外就位了!”

电话猛然挂断。

与此同时,燕山百级洁净大厅内。

“准分子激光光源预热完毕,波长一百九十三纳米!”技术员大声报数。

“光路净空良好,充氮保护舱气压正常!”沈研究员迅速确认参数。

张红旗与李建国并肩站在总控台前。

“红旗,准备好了吗?”李建国沉声询问。

张红旗平静而有力地下令:“赤乌零一号物镜总成,通电点亮!”

唐国维深吸一口气,重重合上了高压放电总开关。

“主放电电压两万八千伏,脉冲频率两百赫兹!”操作员高声报数。

高能深紫外准分子激光管亮起刺目的幽蓝冷光。

激光束如同一支极细的神箭,笔直打入物镜第一道透镜组。

高纯度氟化钙晶体泛起冰蓝色的光晕。

穿透深蓝色的抗反射增透膜,高能光束在二十四块透镜之间逐级聚焦折射。

光能量监测屏幕上,二十四条绿色波形如排浪般接连跳跃升腾!

“第一组匀光透镜,透过率百分之九十九!”唐国维双眼死死盯着示波器。

“第二组消像差双曲面镜,焦距偏离零点零一纳米!”沈研究员大声补充。

“能量传导平稳,没有光斑发散!”

全场数百名科学家与老工匠屏住呼吸,车间内只听见激光脉冲规律的啪啪声。

激光穿透最后一枚高纯氟化钙凸透镜,投射在下方的晶圆载物台上。

涂布着太行零一号光刻胶的高纯硅片,散发着幽微光泽。

“光斑聚焦完成,全视场无像散!”唐国维死死盯着焦面监控屏喊道。

载物台上的光斑极致凝结,没有任何彗差,没有任何枕形畸变。

“送显影轨道机,进行微观形貌复核!”张红旗果断挥手。

两名特级实验员小心翼翼取出曝光硅片,送入洁净室侧翼的显影涂胶联动机。

化学显影在氮气舱内无声进行。

三分钟后。

硅片被移入场发射扫描电子显微镜的样品仓。

“抽真空完毕,开始扫描!”显微镜操作员高喊。

大屏幕上的图像被放大到十万倍,视野中呈现出一排排整齐绝伦的平行光栅线条!

边缘陡直如刀劈斧削,没有分毫毛刺!

“微观线宽测定中!”技术员的声音带上了颤音。

标尺从一百纳米飞速收窄。

九十纳米。

“跨过八十纳米门槛了!”沈研究员屏息低呼。

七十纳米。

最终,检测仪器的绿色方框死死锁死在一条坚不可摧的数值上。

六十五纳米!

“极限线宽,六十五纳米!”

“全视场波前透过率,百分之九十四点六!”唐国维激动得破音高呼。

孙院士颤抖着双手摘下老花镜,眼眶通红地凑近屏幕:“波前像差只有十五分之一波长!”

“透光率甚至超过了尼康同代商用机型整整三个百分点!”

“奇迹!这是咱们中国人自己的深紫外投影物镜!”老院士泪洒衣襟。

李建国率先用力鼓起掌来。

“我们成功了!”年轻的技术员们相拥高呼。

整个洁净大厅内爆发出海啸般的欢呼与掌声!

老工匠们把安全帽抛向半空,孟师傅抬手用粗糙的袖口抹去眼角泪花,笑得合不拢嘴。

“好!好一个赤乌破晓!”

李建国转过身,双手用力握住张红旗的手掌:“红旗,际华给国家工信战线立下了天大的功劳!”

张红旗神色平静而坚毅:“李司长,这是全国数百家配套单位与老技工合力的成果。”

“国家绝不会让拓荒者孤军奋战!”

李建国从公文包中郑重取出一份盖有鲜红印章的机密红头文件。

在全场院士与工匠的见证下,李建国大声宣读批复:

“科技部与信产部联合决定,正式立项深紫外光刻物镜国家高技术重大专项!”

“首期战略扶持直投资金,一亿五千万元整,即刻划拨到位!”

掌声再度雷动。

半小时后,北京半岛酒店套房。

“黑泽先生,东京急电!”助理慌张地推开套房大门。

传真机正发出刺耳蜂鸣,一张绝密撤退通牒被缓缓吐出。

黑泽宏一抓起传真纸,脸色惨白如纸。

东京尼康董事会紧急决议:“鉴于华夏自主投影物镜通过国家级点亮验收,各项指标全面超越本司同类产品。”

“现有封锁策略彻底失效,即日起撤回对华常规光学镜组出口禁运通牒。”

黑泽宏一双腿一软,失魂落魄地跌坐在地毯上。

日方谋划数月的绞杀暗网,在绝对的技术实力面前彻底土崩瓦解。

傍晚时分。

际华大厦顶层,落地窗外晚霞如锦。

办公桌上的红色保密电话响起,传出克劳斯带着德语口音的声音:“张,欧洲有重大变动!”

“克劳斯,慢慢说。”张红旗端着清茶。

“阿斯麦与蔡司已经获悉了燕山点亮的消息,他们放弃了传统干式光刻架构。”

克劳斯语速飞快:“欧洲巨头认定干式光刻在四十五纳米是物理极限,他们正在悄悄测试一种全新方案!”

“什么方案?”张红旗问。

“浸润式光刻!他们在透镜与硅片之间注入了去离子纯水,利用水的高折射率缩短等效波长!”

“简报发过来了吗?”

“加密传真刚刚发送,您看最后一张草图!”

电话挂断。

加密保密传真机发出一阵轻微震颤,纸页从滚筒中缓缓滑落。

黑白打印的欧洲简报末尾,印着一张手工绘制的水滴折射原理草图。

草图旁边写着一行法文小字:“光在水中的速度,改变了规则。”

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