五月八日上午十点整。
燕山百级超级洁净大厅气闸门前,绿灯长鸣。
“百级洁净区尘埃粒子计数归零。”技术员在对讲机里报告。
科技部李建国司长身穿全套白色防尘服,在三位中科院光学院士陪同下缓步走入。
空气中弥漫着高纯氮气微弱的清冽气息。
车间中央特种减震花岗岩平台上,高三米、重达两吨的银灰色钛合金镜筒巍然矗立。
“这就是赤乌零一号深紫外投影物镜?”李建国目光停在镜筒上。
张红旗走上前:“报告李司长,二十四块非球面透镜已全部入筒合拢完成。”
“光学同轴度与同心度校准得怎么样?”中科院泰斗孙院士扶了扶防尘镜严肃询问。
唐国维站在主控台前朗声答复:“纳米级微动机械手已锁死偏摆,轴心偏差小于零点零五角秒!”
“压电陶瓷执行器的动态微调响应如何?”孙院士又问。
“全镜筒配备六十四路微驱动传感,响应时间在两毫秒以内!”沈研究员迅速切出控制界面。
孟师傅站在总装台旁,双手自然垂在腰际,胸膛挺得笔直。
“老孟师傅,您亲手切出的透镜,今天可要见真章了。”李建国微笑着看向老工匠。
“李司长放心!”
孟师傅高声应答:“二十四块镜坯老头子拿命试过,绝不给国家掉链子!”
全场专家学者肃然起敬。
此时此刻。
北京半岛酒店豪华套房内,烟雾缭绕。
东京尼康驻华首席代表黑泽宏一握着加密电话,神情近乎狰狞。
“喂,高桥专务!”黑泽宏一急促汇报,“际华今天上午就要强行点亮物镜总成!”
电话那头传来东京总部的冷嗤:“二十四块大口径非球面透镜,哪怕蔡司也要调校半年。”
“中方连合格的研磨悬浮液都被扣押,仓促拼凑起来的散件,必定产生严重像差与散光。”
“你立刻通知各驻华外媒,只要他们点亮失败,就公开质疑其芯片工程是一场骗局!”
黑泽宏一狞笑点头:“明白,外媒记者已经在燕山厂区门外就位了!”
电话猛然挂断。
与此同时,燕山百级洁净大厅内。
“准分子激光光源预热完毕,波长一百九十三纳米!”技术员大声报数。
“光路净空良好,充氮保护舱气压正常!”沈研究员迅速确认参数。
张红旗与李建国并肩站在总控台前。
“红旗,准备好了吗?”李建国沉声询问。
张红旗平静而有力地下令:“赤乌零一号物镜总成,通电点亮!”
唐国维深吸一口气,重重合上了高压放电总开关。
“主放电电压两万八千伏,脉冲频率两百赫兹!”操作员高声报数。
高能深紫外准分子激光管亮起刺目的幽蓝冷光。
激光束如同一支极细的神箭,笔直打入物镜第一道透镜组。
高纯度氟化钙晶体泛起冰蓝色的光晕。
穿透深蓝色的抗反射增透膜,高能光束在二十四块透镜之间逐级聚焦折射。
光能量监测屏幕上,二十四条绿色波形如排浪般接连跳跃升腾!
“第一组匀光透镜,透过率百分之九十九!”唐国维双眼死死盯着示波器。
“第二组消像差双曲面镜,焦距偏离零点零一纳米!”沈研究员大声补充。
“能量传导平稳,没有光斑发散!”
全场数百名科学家与老工匠屏住呼吸,车间内只听见激光脉冲规律的啪啪声。
激光穿透最后一枚高纯氟化钙凸透镜,投射在下方的晶圆载物台上。
涂布着太行零一号光刻胶的高纯硅片,散发着幽微光泽。
“光斑聚焦完成,全视场无像散!”唐国维死死盯着焦面监控屏喊道。
载物台上的光斑极致凝结,没有任何彗差,没有任何枕形畸变。
“送显影轨道机,进行微观形貌复核!”张红旗果断挥手。
两名特级实验员小心翼翼取出曝光硅片,送入洁净室侧翼的显影涂胶联动机。
化学显影在氮气舱内无声进行。
三分钟后。
硅片被移入场发射扫描电子显微镜的样品仓。
“抽真空完毕,开始扫描!”显微镜操作员高喊。
大屏幕上的图像被放大到十万倍,视野中呈现出一排排整齐绝伦的平行光栅线条!
边缘陡直如刀劈斧削,没有分毫毛刺!
“微观线宽测定中!”技术员的声音带上了颤音。
标尺从一百纳米飞速收窄。
九十纳米。
“跨过八十纳米门槛了!”沈研究员屏息低呼。
七十纳米。
最终,检测仪器的绿色方框死死锁死在一条坚不可摧的数值上。
六十五纳米!
“极限线宽,六十五纳米!”
“全视场波前透过率,百分之九十四点六!”唐国维激动得破音高呼。
孙院士颤抖着双手摘下老花镜,眼眶通红地凑近屏幕:“波前像差只有十五分之一波长!”
“透光率甚至超过了尼康同代商用机型整整三个百分点!”
“奇迹!这是咱们中国人自己的深紫外投影物镜!”老院士泪洒衣襟。
李建国率先用力鼓起掌来。
“我们成功了!”年轻的技术员们相拥高呼。
整个洁净大厅内爆发出海啸般的欢呼与掌声!
老工匠们把安全帽抛向半空,孟师傅抬手用粗糙的袖口抹去眼角泪花,笑得合不拢嘴。
“好!好一个赤乌破晓!”
李建国转过身,双手用力握住张红旗的手掌:“红旗,际华给国家工信战线立下了天大的功劳!”
张红旗神色平静而坚毅:“李司长,这是全国数百家配套单位与老技工合力的成果。”
“国家绝不会让拓荒者孤军奋战!”
李建国从公文包中郑重取出一份盖有鲜红印章的机密红头文件。
在全场院士与工匠的见证下,李建国大声宣读批复:
“科技部与信产部联合决定,正式立项深紫外光刻物镜国家高技术重大专项!”
“首期战略扶持直投资金,一亿五千万元整,即刻划拨到位!”
掌声再度雷动。
半小时后,北京半岛酒店套房。
“黑泽先生,东京急电!”助理慌张地推开套房大门。
传真机正发出刺耳蜂鸣,一张绝密撤退通牒被缓缓吐出。
黑泽宏一抓起传真纸,脸色惨白如纸。
东京尼康董事会紧急决议:“鉴于华夏自主投影物镜通过国家级点亮验收,各项指标全面超越本司同类产品。”
“现有封锁策略彻底失效,即日起撤回对华常规光学镜组出口禁运通牒。”
黑泽宏一双腿一软,失魂落魄地跌坐在地毯上。
日方谋划数月的绞杀暗网,在绝对的技术实力面前彻底土崩瓦解。
傍晚时分。
际华大厦顶层,落地窗外晚霞如锦。
办公桌上的红色保密电话响起,传出克劳斯带着德语口音的声音:“张,欧洲有重大变动!”
“克劳斯,慢慢说。”张红旗端着清茶。
“阿斯麦与蔡司已经获悉了燕山点亮的消息,他们放弃了传统干式光刻架构。”
克劳斯语速飞快:“欧洲巨头认定干式光刻在四十五纳米是物理极限,他们正在悄悄测试一种全新方案!”
“什么方案?”张红旗问。
“浸润式光刻!他们在透镜与硅片之间注入了去离子纯水,利用水的高折射率缩短等效波长!”
“简报发过来了吗?”
“加密传真刚刚发送,您看最后一张草图!”
电话挂断。
加密保密传真机发出一阵轻微震颤,纸页从滚筒中缓缓滑落。
黑白打印的欧洲简报末尾,印着一张手工绘制的水滴折射原理草图。
草图旁边写着一行法文小字:“光在水中的速度,改变了规则。”