江州,启明防务技术研究院,红区pFL实验室。
这里是整个集团保密等级最高的区域,门口站着两名荷枪实弹的哨兵。
实验室内,一个被铅板严密包裹的保险箱被缓缓打开。
在那里面,躺着一块仅有指甲盖大小、呈现出淡紫色的透明晶体。
这就是KbbF氟硼铍酸钾。中国独有的战略资源,全球唯一能直接倍频产生深紫外激光的非线性晶体。
“这就是我们要的心脏。”
李振声教授戴着防静电手套,小心翼翼地将其夹起,放入显微镜下。
“但是林董,有个大麻烦。”
李振声指着显示屏上的晶体侧面图。
“KbbF是层状结构,像云母一样。层与层之间结合力极弱。一旦我们试图用传统的抛光机去磨它,它就会像书本一样散架。”
“而且,它含有剧毒的铍元素。加工产生的粉尘如果被吸入,会引起铍肺病。没有专门的负压加工中心,没人敢动它。”
“最要命的是,”王海冰在一旁补充道,“要产生193nm的深紫外光,我们需要用四倍频技术。也就是把基频激光的波长压缩四次。”
“这意味着,这块小小的晶体,要承受极高的能量密度。如果表面有一点点划痕或杂质,激光瞬间就会把它打穿,变成一堆废粉。”
“我们需要原子级的表面平整度,国内的光学加工厂,做不到。”
林远看着那块脆弱而致命的晶体。
“既然磨不了,那就粘。”
“棱镜耦合技术。”
这是中国科学家陈创天院士当年的独门绝技。
“我们不直接磨KbbF。我们将它夹在两块高精度的石英棱镜中间,利用光胶技术,靠分子间作用力让它们死死粘在一起。”
“然后,我们磨石英,不磨晶体。”
“这需要极高的手工技艺。”林远看向王海冰,“去把中科院福建物构所的老师傅请来。这种手艺活,机器干不了,人能干。”
解决了晶体的固定,真正的噩梦才刚刚开始。
光学系统,不仅要有透镜,还要有“膜”。
增透膜、高反膜。没有膜,激光会在界面上反射、损耗,甚至形成鬼影。
对于193nm的深紫外光来说,镀膜是地狱级难度。
“林董,”负责光学工艺的张教授拿着一份报告,脸色灰败。
“我们用国产的电子束蒸发镀膜机,试镀了十次。全部失败。”
“为什么?”
“致密度不够。”
张教授解释道:“电子束蒸发的膜层,微观上是柱状结构,中间有空隙。水分子会钻进去。在193nm的高能光子轰击下,水分子会电离,产生氢氧根,导致膜层迅速老化、吸收增加。”
“吸收增加意味着什么?”
“意味着发热。接着就是激光诱导损伤。”
张教授拿出一片废弃的镜片。镜片中心,有一个明显的黑色烧蚀坑。
“只要开机十分钟,膜就会烧穿。”
“我们需要离子束溅射镀膜机。”张教授断言,“只有IbS打出来的膜,才是非晶态的、致密的、无针孔的。”
“但是,IbS设备被美国列在瓦森纳协定的核心禁运名单里。Veeco和oxford Instruments,绝对不会卖给我们。”
这是一个死循环。
要搞深紫外计算 -> 必须要有高损伤阈值的膜 -> 必须要有IbS设备 -> 买不到。
“能不能自己造IbS?”林远问。
“原理我们懂。但是,核心的射频离子源,需要极其精密的磁场约束和栅极加工。国内的离子源,束流不稳定,打出来的膜厚度不均匀。”张教授摇头。
林远沉默了。
没有设备,巧妇难为无米之炊。
“既然物理镀膜走不通……”
林远盯着那个烧蚀的黑点。
“那我们就用化学。”
“ALd原子层沉积。”
林远看向李振声。
“我们在普罗米修斯计划里,不是搞到了tdmAt的前驱体工艺吗?那是用来做半导体栅极的。”
“现在,我要你们把ALd技术,用到光学镀膜上!”
“ALd是一层一层原子长的。它的致密度,比IbS还要高!”
“但是,”张教授犹豫道,“ALd太慢了。长一微米要几天。而且,ALd可用的光学材料太少,折射率匹配很难。”
“那就做混合膜系。”
林远在白板上画了一个三明治结构。
“底层:用国产电子束镀膜,做厚度。”
“表层:用ALd镀一层50纳米的致密保护层,做封孔!”
“就像给疏松的墙面,刷一层防水漆。”
“只要水分子进不去,LIdt阈值就能提上来!”
这是一个典型的“土法炼钢”思路,用两种低端工艺的组合,去逼近高端工艺的效果。
方案确定,立刻执行。
经过两周的折腾,第一批采用E-beam + ALd复合工艺的镜片下线了。
上机测试。
激光器启动。波长193nm,功率10w。
十分钟过去了。膜没破。
三十分钟过去了。膜依然完好。
“成功了!”张教授激动得握紧了拳头。
但是,负责算法的汪韬,却皱起了眉头。
“不对。光斑散了。”
屏幕上,原本应该汇聚成一个针尖大小的焦点,此刻却变成了一个模糊的光晕。
“焦距漂移了。”汪韬看着数据,“漂移了整整2毫米。这对于纳米级的光刻计算来说,误差是致命的。”
“为什么会漂移?”林远问。
“热透镜效应。”李振声教授叹了口气。
“虽然膜没破,但它依然有微弱的吸收。吸收产生热量。”
“镜片受热,中间膨胀,折射率发生变化。原本的平光镜,变成了一个凸透镜。”
“而且,这个效应是动态的。功率越高,透镜效应越强。焦点就跑得越远。”
“这是物理规律,没法消除。除非你能把吸收率做到零,那是上帝才能做到的事。”
死局。
即便解决了烧蚀问题,热畸变依然让光学系统无法进行高精度计算。
“不能消除,那就抵消。”
林远突然想到了什么。
“你们知道天文望远镜是怎么消除大气扰动的吗?”
“自适应光学。”
林远在白板上画了一面镜子。
“我们在这个光路里,加一面变形镜。镜子背面,有几百个压电陶瓷致动器。”
“汪总,我要你训练一个AI模型,实时监测焦点的漂移量。”
“然后,控制那些压电陶瓷,微米级地改变镜面的曲率。热透镜让光聚焦,我们就让变形镜把光发散。”
以毒攻毒!动态补偿热畸变!
汪韬的眼睛亮了:“这是个好主意!这相当于给光路装了一个实时眼镜。不管你怎么热,我都能把你矫正回来!”
加入了变形镜后,焦斑终于稳定了下来。
深紫外光子计算原型机,第一次实现了连续1小时的稳定运行。
但是,当林远试图将计算频率提升到10Ghz时,一个新的幽灵出现了。
“数据出错了。”
汪韬看着输出结果,脸色难看。
“我们输入的是1+1,输出的却是2.5。”
“而且,这种错误是随机的,毫无规律。”
“不是量子噪声。”李振声排除了之前的故障,“这次是双光子吸收。”
“在193nm波段,光子能量极高。当光强太高时,硅基波导材料会同时吸收两个光子,产生自由载流子。”
“这些载流子会改变波导的折射率,导致光信号的相位发生非线性相移。”
“简单说:光太强,把路给照弯了。”
这是一个更底层的物理限制。
要提高算力,就要提高频率和光强。
但提高光强,就会触发tpA,导致计算错误。
这是一个功率墙。
“换材料?”王海冰建议,“用氮化硅?它的带隙宽,tpA效应小。”
“来不及了。”李振声摇头,“我们的工艺全是基于铌酸锂和硅的。换材料意味着一切重来,至少一年。”
林远看着那跳动的错误率。
他知道,物理上已经改无可改了。
那就只能改数学。
“汪总,”林远看向汪韬,“既然错误是由于光强太高引起的。”
“那我们能不能不用那么强的光?”
“可是光弱了,信噪比就低,会被淹没在噪声里。”
“不。”林远眼中闪过一丝精光。
“我们用随机共振。”
这是一个极其冷门的物理概念。
“通常我们认为噪声是坏事。但在非线性系统中,如果我们主动注入一种特定频率的噪声,微弱的信号反而会被放大!”
“不用提高信号的光强,试试提高噪声的能量,利用tpA的非线性特性,让噪声把信号托起来!”
“这叫借力打力。”
汪韬愣住了。
“在计算芯片里主动注入噪声?这……这简直是疯子的想法。”
“但这是唯一的路。”林远斩钉截铁。
“试试吧。”
三天后。
pFL实验室。
在注入了精心设计的白噪声后,那台运行在193nm深紫外波段的光子计算原型机,奇迹般地稳定了下来。
虽然光强只有之前的十分之一,但输出信号的清晰度,却达到了前所未有的高度。
算力:100 topS。
功耗:5w。
能效比:是英伟达A100的20倍!
“成功了……”
李振声教授看着屏幕,喃喃自语。
他们用土法镀膜、变形镜补偿、噪声共振这三招怪棋,硬生生地在被西方封锁的深紫外领域,闯出了一条路。
林远看着那台闪烁着紫光的机器。
他知道,这只是原型机。
距离量产,还有十万八千里。
特别是,那块KbbF晶体。
“林董,”王海冰低声汇报,“中科院那边说,KbbF的生长周期太长了,一年只能长几块。根本无法满足大规模量产的需求。”
“如果我们要造一万台这样的机器,就需要一万块晶体。”
“这是产能的死结。”
林远点了点头。
“我知道。”
“所以,我们不能只靠KbbF。”
“我们要寻找替代品。”
“或者……”
林远的目光投向了北方。
“去寻找一种,不需要晶体,就能产生深紫外光的方法。”
“比如自由电子激光,那是加速器的技术。”
林远拿起了电话。
“帮我联系高能物理研究所,我要造一个芯片工厂里的加速器。”